Veeco |气体混合控制和再现性

产品新闻|2015年8月24日

Veeco是气体混合技术的领导者，推出了Apex™气体混合系统，旨在解决这种制造需求和催化有效的低成本的使用点气体混合。

顶点系统在单个平台上产生精确的二进制气体混合物，以用于20nm和以下的半导体应用。顶点可提高浓度控制与现有方法，提供更紧密的过程管理，提高工具正常运行时间和降低制造成本。它针对先进的硅外延应用以及需要低浓度和高精度的用于成本敏感气体混合物的其他方法。顶点以高精度的浓度水平提供二元气体的可靠通量。