研究
Veeco的原子层沉积研究系统是由ALD科学家设计的，并为最大的实验灵活性和价值而设计。使用通用前体递送系统，您可以在任何前体端口中使用固体，液体或气体化学。有很多选择可供选择，包括臭氧发电机，原位监控和各种配置。与往常一样，我们的ALD科学家团队准备回答您的食谱开发和电影表征问题。超过2500篇发表的学术论文特征在我们的Savannah®热ALD系统和Fiji®等离子体ALD系统上进行的研究。
原子层沉积系统：Savannah®
在全球安装了300多个系统，我们的Savannah®系列是ALD研发的标准。Savannah®将易用性和出色的实验灵活性结合在一起，使其成为紧凑，廉价的包装。
如果您正在寻找价格合理，可靠的ALD研究系统，我们的Savannah®系列是理想的起点。
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原子层沉积系统：fiji®
当您的需求更高级并且需要更具实验性灵活性时，斐济是满足您需求的系统。全球已安装了100多个系统。斐济是模块化的，可以定制以满足您的特定需求。
Fiji®配备了等离子体发电机，以实现等离子增强的ALD。它可以配置为洁净室的兼容性和/或使用可选的负载锁。
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