离子源

Veeco为广泛的应用提供了最全面的离子光束源,包括行业唯一的线性网格源。

离子源

Veeco为广泛的应用提供了最全面的离子光束源,包括行业唯一的线性网格源。

网格DC离子源

使用大/宽的单个基板或大底物批次的高度均匀,可靠的离子光束沉积工艺平台的经过验证的线性格栅DC离子源。

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无网端离子源

Veeco的无网端霍尔离子源为真空涂料工艺提供了远光灯电流。

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栅格的RF离子源

VEECO的网格RF离子源设计用于改善长期离子束沉积过程的产生。

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