无网端离子源

通过VEECO的标记I+无网状离子源提高过程均匀性并防止底物损坏。它提供了远光灯…

巨大增加的束电流和可移动的阳极组件为标记II+端霍尔离子源增加了新值。

使用Mark II+离子源控制器最大化离子源性能和薄膜蚀刻，清洁和沉积均匀性。

对于需要高电流低能离子的应用，Mark II+无网状高输出离子源设计用于真空涂层…