生产的ALD

生产的ALD

大型底物,可重复性和低温沉积的均匀性使ALD成为下一代大型制造薄膜技术的理想候选者。

Veeco通过扩展流程并将其实施到世界各地的自动化线和群集工具中,将ALD作为制造级技术完善。与以前的涂料技术相比,已经整合了我们ALD系统的制造商已经提高了产品质量和可靠性以及降低的运营成本和更绿色的占地面积。

批量ALD工具:Phoenix®

如果您有生产ALD的需求,那么我们的Phoenix®生产ALD系统是正确的选择。Phoenix®是一种能够一次持有大量底物的批量ALD工具。其独特的室设计确保从批处理到批次的精确电影
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HVM ALD工具:Firebird™

Firebird™HVM ALD系统凭借其漫长的活动和增强的可维修性,可以满足您的所有权要求,并超过了小型批次预生产评估,一直到加速生产。Firebird™每月提供多达40,000瓦金饼的吞吐量,结合了一流的生产率,出色的电影性能和低廉的运营成本,以满足您最苛刻的高量制造业需求,以实现专业的晶圆生产。
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