MBE组件

MBE组件

Veeco设计为严格的操作标准，旨在提供高度可靠，灵活的性能，提供一系列MBE组件。

Uni-Bulb RF等离子体来源自动调节器

使用VEECO RF等离子体源自动调节器自动调整和维持最佳的等离子体源条件，从而消除了对…的需求
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电源解决方案

行业标准电源
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磷回收系统和温度控制器

安全地捕获并用磷回收系统（PRS）中和白磷在发泄MBE系统之前
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Uni-Block MBE基板持有人

一件式单块无依赖的susbrate持有者，可与全晶片一起使用。
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基材加热器

使用VEECO的底物加热器优化加热柔韧性，该加热器适合特定温度和生长环境。基板加热器可用于…
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气源输送系统

通过VEECO的气体输送系统确保精确控制气体。它为实习生，危险和/或…提供了联锁和监控。
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CBR4气流控制系统

将CBR4气体引入UHV环境中的有效，安全的手段以进行碳掺杂。
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MBE加热的视口

防止使用VEECO加热的视口在MBE系统中涂层光端口。
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MBE坩埚

通过VEECO为MBE积液细胞的广泛坩埚范围，最大化源电荷能力。
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MBE系统的增长控制和调度软件

研究和生产MBE系统的全面和集成的软件控制解决方案。
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磷瓣裂饼干温度控制器

确保通过磷裂饼干温度变化而导致环境条件变化而产生的通量不稳定性的准确和稳定控制……
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