参考书目

多孔聚四氟乙烯膜的等离子体活化，通过TiO2原子层沉积的亲水性和分离性能

作者：徐，羌，杨，杨，杨，杰，王，晓泽，王，肇汇和王，勇

发布时间：2013年

网页链接：http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s0376738813003608.

MNS的原子层沉积：相控制和电化学应用

作者：Riha，Shannon C，Koegel，Alexandra A，孟，祥博，金，在Soo，Cao，Yanqiang，Pellin，Michael J，Elam，Jeffrey W和Martinson，Alex B F.

发布时间：2016年

网页链接：http://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsami.5b11075

一种新型热稳定的锆氨胺氨酰胺前体用于ZrO 2薄膜

作者：李，B，Choi，K J，Hande，A，Kim，M J，Wallace，R M，Kim，J，Senzaki，Y，Shenai，D，Li，H，Rousseau，M和Suydam，J

发布时间：2009年

网页链接：http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2008.03.020

纳米制造业的环境影响

作者：元，C和张，T

发布时间：2012年

网页链接：http://books.google.com/books?hl=en&lr=&id=xrqhvaktxzyc&oi =fnd& pg=pa179&dq = cambridge anydnantech+（ald）&dotech+（ald）＆sig = 2j4sub-phth70dyehizydqh9kltqi.

ALD A1的效果的影响 2O. 3.在al-al的硅表面上的薄膜 2O. 3.-SI结构

作者：ACERO，M C，Beldarrain，O，Duch，M，Zabala，M，Gonzalez，M B和Campababadal，F

发布时间：2015年

网页链接：http://ieeexplore.ieee.org/lpdocs/epic03/wrapper.htm?arnumber=7087443.

通过金属中的原子层沉积气相金属化合物？有机框架

作者：Mondloch，Joseph e，埋葬，武士朱尼克，弗兰登 - jimenez，大卫，kwon，斯蒂芬妮，demarco，erica j，weston，mitchell h，sarjeant，amy a，nguyen，sonbinh t，stair，彼得c，snurr，兰德尔Q，Farha，Omar K和Hupp，Joseph T

发布时间：2013年

网页链接：http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/ja4050828

超骨架膜缺陷辅助和固有水蒸气渗透的实验研究

作者：Kim，Hyungchul，Singh，Ankit Kumar，Wang，Cheng-Yin，Fuentes-Hernandez，Canek，Kippelen，Bernard和Graham，Samuel

发布时间：2016年

网页链接：http://sciting.aip.org/content/aip/journal/rsi/87/3/10.1063/1.4942510

用原子层沉积沉积的TiαZn混合氧化物薄膜的电阻率

作者：Hazra，S K，Borgese，L，Federici，S，Bontempi，E和Ferrari，M

发布时间：2012年

网页链接：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/s0040609012004282.

原子层沉积LA _{2的电气性质o 3使用新型La甲夹层前体和臭氧的薄膜}

作者：李，B，公园，T. J.，Hande，A，Kim，M J和Wallace，R M

发布时间：2009年

网页链接：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/s0167931709002238.