参考书目

用于固体氧化物燃料电池的氧化钇稳定氧化锆的原子层沉积

作者：垫片，Joon Hyung，Chao，Cheng-Chieh，Huang，Hong和Prinz，Fritz B

发布时间：2007年

网页链接：http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/cm070913t

基于氮化物界面层的高k栅极介电叠层设计，制造和表征锗MOSFET

作者：ritenour，p

发布时间：2007年

网页链接：http://dspace.mit.edu/handle/1721.1/40545

三维硅光子晶体中的嵌入式空腔和波导

作者：rinne，s a，garc�a-santamar�a，f和braun，p v

发布时间：2007年

网页链接：http://www.nature.com/nphoton/journal/vaop/ncurrent/full/nphoton.2007.252.html.

通过原子层沉积制备的氧化钛光催化膜掺杂锆掺杂

作者：邱，盛龙和斯塔尔，托马斯湖

发布时间：2007年

网页链接：http://jes.ecsdl.org/cgi/doi/10.1149/1.2718475

原子层沉积铁磁性纳米结构：从薄膜朝向芯壳纳米管

作者：Nielsch，Kornelius，Bachmann，Julien，Daub，Mihaela，Jing，Jing，Knez，Mato，Gosele，Ulrich，Barth，Sven，Mathur，Sanjay，eScrig，Juan和Altbir，Dora

发布时间：2007年

网页链接：http://ecst.ecsdl.org/cgi/doi/10.1149/1.2779078

Savannah ALD系统：启用快速结果

作者：Monsma，D J和Becker，J

发布时间：2007年

网页链接：http://ecst.ecsdl.org/content/11/7/39.short.

Cu互连的电迁移与ALD互连的比较

作者：衬垫，PVDTN

发布时间：2007年

网页链接：http://books.google.com/books?hl=en&lr=&id=_rtbfcr9rngc&oi=fnd& pg=pa139&dq = cambridge ad_nanotech !(ald) tsavannah）＆toots=5moztysjp7& sig=rflgsflxmssssssssssmiwx0b12ndfmtt -s.

用二乙基锌前体原子层沉积ZnO的超低温度生长

作者：Kowalik，I A，Guziewicz，E和Kopalko，K

发布时间：2007年

网页链接：http://przyrbwn.icm.edu.pl/app/pdf/112/1112z245.pdf.

高性能电子基于单壁碳纳米管的对齐阵列

作者：Kocabas，C

发布时间：2007年

网页链接：http://books.google.com/books/about/high_performance_electronics_based_on_al.html?id=bqcfvjxyabkc.

氧化铝对疏水性和亲水表面的原子层沉积

作者：Kobayashi，N，Donley，C，Wang，S和Williams，R

发布时间：2007年

网页链接：http://links.isiglobalnet2.com/gateway/gateway.cgi?gwversion=2&srcauth=mekentosj&srcapp = papers&destlinktype=fullrecord&destapp=wos &keyut=000244587600033.