Veeco射频等离子体源AutoTuner与Veeco Uni-灯泡射频等离子体源一起使用，从而实现免提操作。AutoTuner自动调整并保持最佳的等离子体源条件，从而在实验期间取消了手动调整的需求。例如，如果诸如气体流量或功率电平的操作条件经常发生变化，则自动箱将是自动化过程的优异解决方案。AutoTuner由三件 - 自动调谐控制器，自动调谐单元和自动调谐电源组成。自动调位控制器提供操作员可访问的控件，自动调谐单元状态的可视显示和对用户的处理系统的控制接口。自动调谐单元由两个可变电容器和单个固定电感器组成。自动调谐单元内的可变电容由伺服电机驱动，由自动调节控制器供电。自动电源为设备提供电源，以实现适当的功能，同时确保适当的电源要求。Veeco AutoTuner船用所有Veeco Uni-Bulb射频等离子体来源，也可作为Veeco Manual Tuner的直接更换。veeco射频等离子体源添加自动箱，可确保稳定的生长条件并优化电力效率。自动调谐控制器的可编程参数允许自定义或拟合应用需求的各种选择选项。

在自动模式下，自动调位单元的内部传感器称为相位和幅度检测器，产生错误信号。自动调位控制器对误差信号进行反应，驱动伺服电机，自动将网络调谐到适当的等离子体阻抗。

在手动模式下，可变电容可以使用前面板上的MIN / MAX开关定位，控制伺服电动机旋转方向，允许操作员手动调整自动调谐单元以匹配等离子体阻抗。

• 确保稳定的生长条件
• 优化电源效率
• 启用免提操作
• 兼容Veeco氧气和氮射频等离子体源