专利的低温Sumo®Source是高蒸汽压力材料的非旋转蒸发的最佳可用源。SUMO源包括双丝加热器,该加热器纵向为独特形状的坩埚。该源以热锁定模式运行,以防止由坩埚唇部的材料封闭引起的磁通阴影和源闭塞。低温SUMO源封闭在隔热封装中,该屏蔽封装设计用于100-750°C的工作范围内的最佳源响应性和稳定性。
温度稳定性对于高蒸汽压力材料是至关重要的,因为即使是小的温度变化也会产生助焊剂的显着变化。从基板操纵器辐射的热量有时使得难以在非常低的源操作条件下保持稳定的光束通量。由于尺寸较小,当使用SUMO源代替锥形或圆柱形坩埚时,这种效果显着降低。
专利设计具有超过175个用于低温蒸发的低温蒸发高性能源,防止坩埚稳定性粘结的凝结性稳定性和均匀性,具有大充电容量PBN坩埚施工优化了材料质量的理想有机材料的来源。
Sumo Crucible.
独特的专利坩埚特点:
可选插入物可用于限制坩埚孔尺寸,从而增加坩埚中的背压。该技术可以提高非常高的蒸气压力材料的性能,包括用作掺杂剂的性能。建议刀片特别适用于将在300°C或更低的温度下操作的来源。
有机物的低温相扑
低温SUMO源非常适合使用,与有机发光二极管(OLED)和电子应用中的高蒸气压有机材料一起使用。由于有机物的导热性低,常规蒸发源难以实现稳定的束通量。低温SUMO源是有机物稳定和均匀沉积的最佳解决方案。对于需要准直光束以最大化材料使用和最小化吹气的应用,可以使用“Longhorn”Sumo坩埚。
低温SUMO源精确地定制了蒸发高蒸气压力材料的需求。
福利包括: