卓越的吞吐量和可重复性，适用于各种应用
Veeco的Spector®Loadlock离子束溅射系统可以为各种应用提供大量的产量改进。能够在底物负载的五分钟内开始沉积，翼载Loadlock系统可以容易地将沉积时间短于批次工具所需的典型预处理步骤的设计。
通过能够在压力，温度，靶表面表面组合物和离子源功率如压力，温度，目标表面组合物和离子源功率等过程中保持稳态条件的能力，还提高了系统重复性。蜘蛛Loadlock用户可以期望改善维护（MTBM）之间的平均时间，例如射频中床，室内衬里和屏蔽，因为它们越频繁地暴露于大气和水分。结合，这些特性和益处使用户能够以成本的一小部分生产市场上可用的最高精度和优质胶片。