LSA 201环境控制激光尖峰退火系统

Veeco的LSA201激光尖峰退火（LSA）系统具有与LSA101相同的架构，但包括专利的微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶片环境控制。微室是独特的，因为它不需要使用真空载荷锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括形成气体。LSA201靶向高k金属栅极结活化和硅化镍的应用。LSA201非常适合于Sub-20nm的过程，例如界面工程和材料修改，其中环境控制至关重要。

主要特征

• 长波长，布鲁斯特角，P偏振光，用于最佳模架均匀性
• 闭环温度反馈控制以保持紧温控制
• 布局独立设计适用于加工刨床和FinFET设备
• 具有灵活停留时间的局部应力场使得能够低应力处理和降低的晶片破损