LSA 101激光尖峰退火系统

Veeco的LSA101系统安装在全球领先的IDM和铸造厂，是从40nm到14nm节点的高级逻辑设备的高批量生产的首选技术。LSA 101的扫描技术构建在Veeco可定制的Unity Platform™，可提供均匀性和低应力处理的基本优势。LSA101系统可实现允许客户保持精确，目标高处理温度的关键毫秒退火应用，从而实现设备性能，较低泄漏和更高产量的增益。

标准LSA101配置利用单个窄激光束从基板温度加热晶片表面到峰值退火温度。响应于越来越复杂的过程需求，Veeco开发了一种双光束技术，该技术扩展了非熔体激光退火的应用空间，并具有第二低功率激光束以实现低温处理。当使用双光束时，第二更广泛的激光束被掺入预热晶片。双光束系统提供调整温度和应力轮廓的灵活性。