获得不同材料的最佳热曲线和veeco双丝源的情况。该来源专为越来越高质量的GA和含有物质而设计，同时防止电荷材料封闭和显着减少缺陷。双灯丝源可用于SUMO和传统坩埚（包括III组生产坩埚）。

• 专利设计，田间超过725
• 经证实减少形态学缺陷的有效方法
• 产生更流体动力学稳定的通量
• 敏感温度斜坡

双丝源使用两个独立的加热器来控制沿着坩埚的长度的温度变化。彻底的源和坩埚扩散需要底部灯丝，并获得更高的增长率。

双丝源仅使用铝的“冷唇”模式。唇部区域刻意比坩埚的其余部分保持冷却，以防止铝蠕变。通过调节坩埚温度梯度，可以优化铝助焊剂均匀性。

用于MBE的双丝源可在一系列坩埚尺寸范围内提供，包括大多数商业MBE系统的直接替代品。在较小的充电容量可接受并且源温度的快速升高至关重要的情况下，可以优选具有锥形坩埚的标准双丝源。

表现和福利

来自数十种设施的数据表明，双丝源显着降低了椭圆形缺陷密度。当“冷唇”单丝源被“热唇”双丝源代替时，缺陷密度减小了5-10倍。

当用于镓和铟蒸发时，热唇源在生长表面上减少了椭圆形缺陷的形成，导致改善的装置性能。关于这些源相关的形态缺陷的最广泛接受的理论是它们是由熔体“吐痰”引起的，这在坩埚孔口的冷凝形式的液滴液滴中发生并回到热熔液中时发生。

附图说明了热唇加热如何防止冷凝，从而消除吐痰。熔体等杂质如氧化镓，也可能导致椭圆形缺陷。在这种情况下，消除冷凝也是有益的，因为液滴可以从周围环境中收集杂质。当用于铝时，双丝源允许在孔口上充分加热，以提供良好的助焊剂均匀性，同时提供“冷唇”，以防止铝蠕变可以损坏源热屏蔽和加热器丝。双丝源以“冷唇”模式为单位，提供增强的铝源可靠性，以及具有良好的性能。

1. D.G.Schlom，等，J.Vac。SCI。技术。B 7,296（1989）。