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UNI-块MBE衬底支架
灵活的设计,低粒子生成
单件式Uni-Block®铟 - 无型基板保持器允许快速安装在同一支架环中的全部或部分基板,最小的颗粒生成。整个装配过程可以在不到30秒内完成,从而减少衬底的暴露于环境。没有电线或夹子安装,并且基板始终面向下方,从而减少颗粒污染。可以使用各种构造以容纳部分晶片,扩散器板和光学访问晶片的背面。
易于基板安装
最小的颗粒污染
优异的温度均匀性
与原位监控兼容
兼容全部和部分基板
直接取代原始制造商的设计
无可自由的安装选项
Uni-Block基板支架由单块钼制成,提供易用性并使其方便蚀刻。
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