用于LED生产的TurboDisc EPIK 868 MOCVD系统
领先的性能，最大的资本效率和占地面积节省
Veeco的EPIK®868是LED行业性能最高的MOCVD系统，具有优异的均匀性和低缺陷的重复性。EPIK 868具有四反应堆配置，具有突破性技术，包括专利的iso法兰™和TruHeat™技术，可在整个晶圆载体上提供层流和均匀的温度分布。这些技术创新推动了微型和微型led所需的更高产量。EPIK 868内置的是TurboDisc®技术，可实现最高的系统可用性和正常运行时间。专为大规模生产而设计，EPIK 868高容量载体可容纳多个4”或6”晶圆尺寸，拥有成本最低。客户可以轻松地将工艺从现有的TurboDisc系统转移到新的EPIK 868 MOCVD平台，快速开始生产高质量的迷你和微型led。
- 均匀性好，缺陷低
- 紧凑的集群架构
- 高吞吐量架构实现最大产量