基板加热器

针对特定温度和生长环境量身定制

基板加热器可用作普通MBE系统的直接更换部件。Veeco提供针对特定温度和生长环境条件量身定制的专用基板加热器。在标准加热器的情况下,通过PBN扩散板和复杂的长丝设计实现了优异的热均匀性。密集的钨丝丝提供均匀加热的表面积。在箔上优选导线,因为其更一致的横截面均匀性可防止热点形成。丝组件具有紧密间隔的平行线,布置成沿与旋转进行计数器的图案布置,确保两个粘合和非粘合块将均匀地加热。功耗是基板加热器的标志。灯丝表面积最大化,并且热屏蔽设计用于将热能朝向基板突出。电源/电流消耗可以减少到OEM加热器的50%。背景技术压力得到改善,并且Rheed图案更清晰,诱导干扰较少。清洁操作是由仔细选择建筑材料和UHV兼容的制造技术。 Only tantalum, tungsten and PBN are used in the hot zone of the heater used in standard III-V applications. Efficient operation also minimizes outgassing during growth.

高响应的钨丝丝增强了可靠性和再现性。它通过先进的隔离系统牢固地固定到位,确保由于形状或位置变化而不会改变性能特性。PBN漫射板通过源材料或在基材转移期间保护丝通过源材料或意外损伤来保护丝。

一些可选的基板加热器设计增强功能包括:

  • 用于优化加热柔韧性的双丝
  • 灯丝材料用于高温和替代生长环境
  • 用于替代生长环境的扩散器材料

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