光学涂层伺服大面积离子束沉积系统

增加产量和优异的材料均匀性

Veeco的SPECTER®大区域行星离子束沉积系统将无与伦比的离子束膜质量与电子束系统附近的批量尺寸相结合。除了较大的整体涂布面积外，鲁棒夹具还支撑加工直径400mm的整体基材和100mm厚。Veeco包括我们的16厘米RF高功率沉积源和超低污染RF中床，以确保高沉积率和胶片质量。对于最大化学计量控制和原位衬底预清洁或蚀刻支撑，该系统还配备了12CM RF辅助离子源。

带有行业领先吞吐量的离子束质量提供最低的拥有成本
400mm行星上的特殊材料均匀性可确保最大产品产量
高电流RF离子源提供出色的沉积速率
大型基板和调色板支架提供的最大产品灵活性