光涂层伺服离子束沉积溅射

精密光学薄膜的转弯制造

通过Veeco的Spector®离子束溅射（IBD）光学涂层系统实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。在夹具中具有多种选项，目标组件和最先进的光学监测系统，旨在为几乎每个光学薄膜制造应用而满足产量和设备性能要求。

翼型双离子束溅射系统

• 可互换平台可容纳行星，简单的旋转或翻转夹具
• 为电信应用提供高产200,100和50 GHz DWDM过滤器
• 符合严格的设备规范，如窄通带，宽度的停止，陡坡和低插入损耗
• 生产Ar涂层，复杂的非季度波涂层和超低损耗激光镜
• 用吸收和散射在单位数字PPM水平上制造镜子
• 高能工艺提供更好的填充密度和低销孔密度
• 低压操作提供高胶片纯度
• 卓越的薄膜厚度控制

Sourcerer®Systemermant，Sourcerer System Manager具有实时和动画动作的独特图形界面，提供比市场上的任何其他离子束系统控制包更多的控制和灵活性。使用简单的命令或轻松导入的薄膜设计，过程工程师可以开发先进的自动配方，启动过程运行并在运行完成时返回。再加上Veeco的卓越流程知识和响应世界各地的服务组织，我们在销售前后设置了标准。