光学涂层伺服 - HT离子束溅射系统


物理气相沉积速率下的离子束光学膜

采用屡获殊荣的SPECTER-HT™先进的离子束溅射系统生产出最高质量的光学薄膜,具有提高的生产率和吞吐量水平。在普通的离子束系统的经过验证性能的情况下,SPECTOR-HT系统提供出色的层厚度控制,增强的过程稳定性和行业中最低的发布光学损失。

对于从带通滤波器的尖端光学干涉涂层应用,从带通滤波器到横梁分离器到激光通热,已经设计了旨在改善关键的生产参数,例如目标材料利用,光学端点控制和处理时间。SPECTOR-HT为制造商提供了离子束溅射的定性优势(IBS)技术 - 低散射损耗,高膜纯度,稳定沉积速度和薄膜厚度控制<0.1nm的更强大的封装,显着提高了产量并降低了成本所有权。

  • 通过改善沉积率和增加的批量,增加系统吞吐量增加400%的吞吐量增加
  • 提高材料利用率高达300%的材料利用率,降低维护,提高总体拥有成本
  • 增强薄膜均匀性优化工具几何形状与固有的IBS工艺技术相结合,提供50%更好的材料均匀性
  • 为工艺灵活性设计,SPERTER-HT以多种方式提高了过程灵活性:我们的最新一代过程控制系统是操作员友好的,扩大批量尺寸允许更多的过程选择和稳定的沉积速率使能无人值守的系统操作
  • 冠军2013年奖金研发100奖

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