物理气相沉积速率下的离子束光学膜
采用屡获殊荣的SPECTER-HT™先进的离子束溅射系统生产出最高质量的光学薄膜,具有提高的生产率和吞吐量水平。在普通的离子束系统的经过验证性能的情况下,SPECTOR-HT系统提供出色的层厚度控制,增强的过程稳定性和行业中最低的发布光学损失。
对于从带通滤波器的尖端光学干涉涂层应用,从带通滤波器到横梁分离器到激光通热,已经设计了旨在改善关键的生产参数,例如目标材料利用,光学端点控制和处理时间。SPECTOR-HT为制造商提供了离子束溅射的定性优势(IBS)技术 - 低散射损耗,高膜纯度,稳定沉积速度和薄膜厚度控制<0.1nm的更强大的封装,显着提高了产量并降低了成本所有权。