Solus DC离子源控制器
veeco的直流包装离子源的行业领先的电力输送系统
Veeco的Solus™直流离子源控制器采用最先进的精密控制系统设计，可在所有类型的过程中提供可靠稳定的离子源操作电源。具有比率功能的集成电源模块和气体流量控制允许最佳的离子源控制和最苛刻的过程环境中的性能。
- 易于使用单按钮操作
- 手动，自动化和远程操作选项
- 改进等离子体稳定性的尖端控制
- 集成和可配置的气体流量控制
- 定制源操作的可自定义控制设置
- 节省时间的故障排除功能
- 有用的事件和状态日志记录屏幕
veeco的直流包装离子源的行业领先的电力输送系统
Veeco的Solus™直流离子源控制器采用最先进的精密控制系统设计，可在所有类型的过程中提供可靠稳定的离子源操作电源。具有比率功能的集成电源模块和气体流量控制允许最佳的离子源控制和最苛刻的过程环境中的性能。