单灯源

可靠,经济高效的MBE源操作


获得具有可靠Veeco单纤维源的高批量,高价值MBE流程需求的经济高效的解决方案。它们采用可靠的带热电偶和单加热器长丝750-1200°C操作。有三种系统配置和许多坩埚尺寸可用。全部提供稳定且一致的高蒸汽压力材料。

  • 专利设计,田间超过1125
  • 单丝“冷唇”和“热唇”设计
  • 与几乎所有电源兼容
  • 可提供各种尺寸
  • 优异的性能和价值

Veeco Mbe单丝源有三个版本:

  • 标准灯丝源。标准灯丝源是一般的通用源,具有单个均匀分布的加热器灯丝。所有设计都包括带热电偶,具有大坩埚接触区域。虽然源加热是均匀的,但由于坩埚孔口处的辐射热损失,源极均匀,源极略微冷却,尤其是对于更大的容量来源。为了蒸发铝,可能需要提高如下所述的这种“冷唇”效果。
  • 修改的灯丝源。该源具有专利的“修改”单丝设计。“热唇”加热通过一块灯丝均匀地加热坩埚的底部但包括顶部的额外细丝密度以补偿孔口的辐射热损失。这种设计较小的容量坩埚特别有效。
  • 冷唇源用于铝。熔融铝湿润PBN,通常导致常规来源蠕变和溢出。有助于铝溢流的因素包括源安装角度,加载的铝量和源斜率。观察持续蠕变和标准源溢出问题的用户可能需要一种特殊的单丝源,具有较短的灯丝,产生夸张的“冷唇”。铝的冷唇源促进坩埚唇缘在坩埚唇中渗透并损坏源。

对于要求苛刻的应用,或者需要大的源容量时,建议使用双灯丝或SUMO源。

表现和福利

单纤维源为通用应用提供良好的性能和值。由于带式热电偶导致热稳定性增加,标准灯丝源提供了更好的精度和稳定性。改性丝源中的热唇加热可降低镓和铟相关的椭圆形缺陷。它还通过防止坩埚中的凝结来提高其他材料蒸发的稳定性和再现性。

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