VEECO的可伸缩资源解决了MBE的基本限制,包括来源容量,删除维护和系统正常运行时间。可伸缩的源使单个源可以从源门阀中撤回并隔离生长环境,然后在不排气的情况下取出。然后,可以轻松地用相同的材料或新材料重新填充来源,然后再以标准位置重新安装到生长模块的标准位置,从而使生长能够继续下降。这样可以通过避免整个系统通风孔和烘烤的过程来节省用户重新资格到基板距离和几周停机时间的资格。此外,差分抽水选项可在源周围的基本压力上有明显的改善,以减少源材料的污染,并为腐蚀性和氧化环境中的来源提供更长的寿命。Veeco的可伸缩资源是材料灵活性,系统生产力的领先解决方案,并通过获得专利的SUMO源技术提高了我们的领导。
- 提供几乎不间断的系统操作
- 减少补充和维护时间
- 提高可靠性和无风味的设计
- 通过差分抽水保留源材料的纯度
- 专门在Veeco MBE系统上可用