Veeco的可伸缩源地满足了MBE的基本限制,包括源容量,维护和系统正常运行时间的源码。可伸缩源允许用源极栅极从生长环境中撤回和隔离各个源,然后除去而不发泄整个腔室。然后可以在以标准位置预先安装到生长模块的标准位置之前,可以轻松地重新填充源,从而允许生长以最小的中断继续。这通过避免整个系统通风口和烘烤的过程,将用户从重新定位到基板距离和多周的停机时间。另外,差动泵送选项提供围绕源极压的显着改善,以减少源材料的污染,并为腐蚀性和氧化环境中的来源提供更长的寿命。Veeco的可伸缩源是材料灵活性,系统生产率的领先解决方案,并通过专利的Sumo源技术提高了我们的领导力。
- 提供几乎不间断的系统操作
- 减少补充和维护时间
- 提高可靠性和无波纹管的设计
- 通过差动泵送保留源材料的纯度
- 专门用于Veeco MbE系统