Propel HVM GaN MOCVD系统的电源，5G射频和光子

单晶圆电抗器技术可实现高效，高质量的GaN的电源，5G射频和光子应用应用程序

Veeco的Propel™HVM GaN MOCVD系统设计为GaN的电源，RF和光子仪设备的独特高批量制造单晶圆反应器集群系统。采用单晶圆反应堆平台，能够在150和200mm晶片上生产一流的高质量外延薄膜性能，以实现卓越的均匀性，可重复性和产量。Propel HVM系统可配置最多可配置6个模块化簇室，可为客户铸造或IDM业务提供最大的生产率和灵活性。

单晶圆反应堆基于Veeco的领先TurboDisc®设计，具有突破性技术，包括ISoFlange™和SymmHeat™，可在整个晶片上提供层流和均匀的温度曲线。客户可以轻松地将Veeco的单晶圆反应堆Propel和K465I™系统从HVM GAN MOCVD平台转移到PVM GAN MOCVD平台，以便快速发展到生产周期