推动300mm GaN MOCVD系统,用于5G,光子和CMOS

完全自动化的单晶圆群系统可以在300mm基板上生产5G RF,光子和高级CMOS器件。

Propel™300mm全自动单晶圆集群系统是唯一可验证的GaN MOCVD工具,可在300mm基板上生产5G RF,光子和高级CMOS器件。

Propel 300mm系统采用单晶圆电抗器平台,能够在300mm晶片上生产一流的高品质的外延薄膜,具有出色的均匀性,可重复性和产量。Propel 300mm系统可配置最多3个模块化簇腔,并为盒式磁带提供自动录像带,以实现最大的灵活性和生产率。

单晶片反应堆基于Veeco的领先TurboDisc®设计,包括ISoFlange™和Symmheat™技术,可在整个晶片上提供层流和均匀的温度曲线。客户可以轻松地从Veeco单晶圆反应器推动和推动HVM系统的进程,以推动300mm GaN MOCVD系统,以便快速发展到生产。

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