精密气体混合系统

提高气体混合物浓度以获得更高的产量

Veeco的精密气体混合系统产生气体混合物，具有改善的浓度控制，可用于更长的过程控制和更高的产量。混合浓度的主动控制补偿了上游浓度的变化或漂移。例如：超出了1％的掺杂剂预混料，压电精密气体混合系统可以产生50ppm掺杂剂气体混合物，含有±0.5ppm或更高的浓度控制，坦克和罐的保质期。

• 节约成本：从纯净或从较高浓度的气体混合采购减少了罐交换的频率，并最大限度地减少了刀具停机时间;高投资回报率
• 多功能：可以处理大多数常用的前体或掺杂剂气体混合物
• 方便：允许流程工程师在广泛浓度范围内拨打该过程所需的浓度
• 更简单的物流：允许设施工程师减少多个浓度气体混合物的库存
• 易用性：友好的用户界面允许选择活性气体和稀释气体，并设定使用点所需的浓度
• COMPACT：可以安装在一个小的通风外壳或VMB中

符合行业安全协议，GMS必须安装在标准的半兼容气箱中。