可重复蒸汽输送控制的行业标准Piezocon®气体浓度传感器已成为半导体制造商中的行业标准,用于在CVD和MOCVD工具中精确监测和可再现的递送控制和可再现的化学前体蒸气和掺杂剂气体。
Piezocon系统提供了超过5,000个安装的生产经过验证,提供:
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Veeco |气体混合控制和再现性
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