用于磷的获得专利的耐受裂解器是独特的，以提供来自固体磷电荷的受控和可再现的P2通量。多区坩埚设计用于以商业上可获得的红磷的原位转化为更有效的蒸发特性。

• 专利设计，在该领域拥有175多个
• 兼容高温除气
• 经过验证的膦（PH3）的有效的固体源替代品
• 真空密封坩埚优化材料质量

Veeco独特的热控制系统为红色和白色磷区具有独立加热器，以及白色磷储层的空气冷却夹套。两个加热器都用于彻底源放入。加载后，通过将红磷区加热到蒸发温度来实现高效电荷转化，同时冷却白色磷储存器以促进P4蒸气的冷凝。在生长期间，只使用单个散装加热器实现可调节的温度梯度。通过加热器在红色磷区中，坩埚可以加热到190℃的红色磷温度（足够低，以避免在运行期间蒸发红磷），白色磷温度为75-100℃。空气冷却将白色区域的温度降低到所需的操作水平。该系统提供出色的热稳定性，即使在白色区域温度低至65°C。

对于快速可靠的磁通控制，气流通过用全金属针阀从坩埚中计量到坩埚中。在高电导裂解区中，P4至P2的有效转化发生在高电导裂解区中。建议使用Veeco磷阀门裂解饼干温度控制器，以及Veeco SMC-II自动阀定位器，可靠，自动控制针阀。

表现和福利

用于磷的耐血管裂解剂是一种有效和安全的替代方法，用于使用磷酸化的生长。阀门来源提供了要求季度增强材料的精确组V助焊剂控制，以及在层之间的混合中混合（1％）的砷化物/磷化物异质结构的生长，高效截止。

源极阀机构使得可以快速和可再现地建立任何光束等效压力（BEP）来优化生长参数。关闭阀门防止在烤盘期间丢失源材料。使用该来源的全球实验室结果表明了卓越的材料质量和最先进的电子和光电器件。

展示的结果包括：

• GAINP / AlGaInP材料系统中的红色激光二极管在630-670nm发射，具有高功率输出和良好的设备寿命
• 在660nm发射的AlGaInP系统中的共振腔光发光二极管显示出高效率和长时间的寿命。在1300nm发光的rcleds显示出优异的光谱纯度