Veeco磷的裂解饼干温度控制器可用于现有和新的磷损伤饼干，可确保准确且稳定的白色区域温度不稳定性，可能因改变空气温度或水冷温度等环境条件而产生。温度控制器通过维持恒定白色区域温度±0.05°C，导致磷通量稳定性<±1％。此外，温度控制器通过使用户能够精确地设定白色区域的温度而使用户非常简化阀门裂纹工艺设置，而不是手动设置白色区域空气流量。

• 在±0.05°C±0.05°C的磷白区温度保持±1％
• 兼容所有Veeco磷的裂解饼干
• 由于水温，空气温度和空气流动，消除了磷焊剂不稳定性