由于白磷对氧气的极端反应性,Veeco的磷回收系统(PRS)提供了一种安全,有效的方法,可以在发泄MBE系统进行维护和/或源源重新加载之前从生长模块中捕获和中和白磷。该工艺通过VEECOMOLLY®的增长控制软件进行控制并密切监测。VEECO PRS可在两种型号中使用,以适应小体积或大量制造环境。
VEECO磷裂饼干温度控制器可用于现有和新的磷瓣裂饼干,可确保由不断变化的环境条件(如空气温度或水冷温度)而产生的准确稳定的白色区域温度不稳定性。
温度控制器通过维持恒定的白色区域温度在±0.05°C的范围内工作,从而导致磷通量稳定性<±1%。此外,温度控制器通过使用户能够准确设置白色区域的温度而不是手动设置白色区域气流,从而大大简化了阀饼干工艺的设置。