Novus RF离子源控制器
veeco射频网格源的行业领先的电力输送系统
Veeco的Novus RF LON源控制器采用最先进的精密控制系统设计，可在所有类型的过程中提供可靠且稳定的离子源操作电源。功率模块，改进的RFN操作和集成气体流量控制，比率能力允许最佳的离子源控制和最苛刻的过程环境中的性能。
- 高级光束控制算法的特殊过程稳定性
- 可变频率技术的无忧无虑中和器操作
- 通过复杂的故障处理电路卓越的耐用性
- 定制源操作的可自定义控制设置
veeco射频网格源的行业领先的电力输送系统
Veeco的Novus RF LON源控制器采用最先进的精密控制系统设计，可在所有类型的过程中提供可靠且稳定的离子源操作电源。功率模块，改进的RFN操作和集成气体流量控制，比率能力允许最佳的离子源控制和最苛刻的过程环境中的性能。