Nexus IBD离子束沉积系统
适用于硬偏压，铅，绝缘层和传感器堆叠沉积
数据存储制造商可以显着提高80GB / In2传感器的收益率，并满足未来TFMH设备制造的需求与Veeco的第三代Nexus®离子束沉积（IBD）系统。
- 支持广泛的设备，从当前CIP到高级CPP设备
- 适用于MRAM应用以及GMR和TMR薄膜磁头
- 改进了所有准直的沉积应用的CD控制
- 通过对称的沉积羽流来锐利的起飞角度
- 平台与PVD，IBE和其他技术轻松集成
Veeco's Frank Cerio，Ph.D.是一家领先的过程开发工程师，在IEEE国际互连技术会议（IITC）。呈现使用离子束沉积的低电阻率的钨的微观结构优化，也作为海报呈现。现在看：