Nexus DLC-X钻石状碳系统

超硬,耐腐蚀的TFMH涂料膜技术


用Veeco的Nexus DLC-X系统沉积较长的TFMH滑块大衣和降落垫,沉积致密,均匀且可重复的薄钻石样碳(DLC)膜。Nexus DLC-X具有该行业的首个值得生产的脉冲过滤阴极弧源,可实现Sub-20A大衣厚度,并支持改进的步骤覆盖范围,与前几代相比,以获得更好的工艺产量。

  • 脉冲过滤的阴极弧的特殊均匀性,可重复性和膜硬度
  • 长掷,低压PVD提供致密的,无针孔的硅种子层
  • 反应性PVD过程
  • 可调的低能Nexus 420离子束蚀刻源导致稳定的操作从75伏特到300伏束能量
  • 倾斜椭圆机促进蚀刻和沉积终点控制

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