MARK II +无条件离子源

增加波束输​​出和改进的维护功能

显着增加的光束电流和可拆卸的阳极组件对标记II +端厅离子源增加了新值，为Veeco的光学涂层系统提供了对Veeco的行业领导源的进化改进。

• 对于更高速率的过程和更大的腔室高达70％的梁电流
• 可拆卸的阳极组件使维护更快，更少的停机时间
• 易于安装和可靠性的集成丝网和布线
• 适用于反应性和惰性气体和高功率密度
• 较小的外形使用相同的安装板作为Mark II源，用于更快升级
• 灵活的集成允许节省空间的系统设计和宽波束角度