Veeco高温源在高达2000°C的温度下提供电荷材料的热蒸发。这种紧凑的MBE源有效地运行，以实现高温，而不会对系统进行过多的热负荷。低功耗要求也增强了加热器丝的寿命。

• 用于UHV的温度高达2000°C
• 用于多晶片4“系统的来源
• 耐氧化源结构
• 用户可更换的热屏蔽和丝
• 超过425个领域的来源

热区仅由耐火钨和钽构成，以确保UHV的清洁操作，即使在最高的工作温度下也是如此。钨加热器丝，以及孔口处的热屏蔽是可更换的。诸如PBN的绝缘陶瓷仅限于源的冷却区域，以防止在操作期间进行除气。

• 6CC和10CC直墙。最适合使用小（2英寸）基板和部分晶片
• 24CC圆锥形。充电容量和助焊剂均匀性，适用于3“和较大的基板
• 26cc sumo。与所有Sumo Clucbles一样，该来源提供最大的可用容量，优异的通量均匀性，长期通量稳定性和高效源操作，用于沉积3“和较大的基板
• 78cc圆锥形。多4“或单8”系统上的最大沉积能力

坩埚可用于耐火金属和陶瓷材料。适当的选择将随所需的蒸发材料而变化。反应材料通常从金属坩埚与陶瓷衬里结合的金属坩埚蒸发。由于制造限制，所有坩埚材料都不提供SUMO设计。