VEECO针对研究和生产MBE系统的全面和集成的软件控制解决方案是我们的Molly®成长控制软件和Lot Manager计划软件。莫莉(Molly)执行并允许撰写和运行食谱,这些配方可以执行增长过程,而Lot Manager则管理VEECO自动化生产MBE系统的自动操作。
莫莉增长控制软件
- 监视和控制
Molly与系统组件的接口,包括电源,Rheed,高温计和其他原位监控工具。清楚地显示了包括温度,压力和位置在内的系统状态,可以直接设置控制设定点。
警报提醒用户注意异常条件,可用于防止食谱
- 增长食谱编辑
使用具有易于使用的食谱构建块的外观特定食谱编辑器轻松创建增长食谱。可以使用Mollyscript™的力量(Molly的脚本语言内置)创建更复杂的例程。
- Epitrend™数据录音机和查看器
Epitrend始终是数据录音机和查看器。连续记录系统中的每个状态和控制信号。可以使用内置查看器查看和比较数据。
数据也可以导出以用于外部分析。
Lot Manager计划软件
- 自动压板转移
地块计划安排台式转移和食谱执行。高度灵活的地段启用定制的模块序列。可选依赖性允许同步关键过程。
传输优化通过并行操作增强吞吐量,同时在多个模块中运行配方。
- 手动操作
手动压板转移是一个快速简便的拖放操作。手动模块操作将直接从模块操作控件访问。
- 系统状态
可自定义的概述屏幕显示压板位置,狭缝阀状态,模块状态和其他控制信号信息。
- EPIMOVE™手动系统控制
您需要的手动和维护控制。Epimove在便携式和坚固的手持计算机上运行。