Genxcel R&D MBE系统

基材上高质量的外延层,直径为4“


新的屡获殊荣的Genxcel™系统在GenXPLOR™上扩展,自2013年8月以来,这是畅销的MBE系统,其单4“基板上的高质量外延增长与Genxplor系统的3”能力相比。Genxcel系统采用易于使用的手动传输系统,12个源端口和现代电子设备完全集成到单一框架设计中,以获得最高实验室足迹效率。

  • 基材上高质量的外延层,直径为4“
  • 独特的单帧架构可提高易用性,提供方便的源访问和增强的可携带性
  • 高效,一体化设计将手动系统与车载电子设备相比,与其他MBE系统相比,节省了40%的实验室空间
  • 适用于在包括GaAs,氮化物和氧化物的各种材料上的尖端研究
  • Molly®软件集成了简单的食谱写作,自动化生长控制和始终开启数据录制
  • 可选的Nova™超高温衬底加热器,可在1850°处成熟性能
  • 直接可扩展性Gen20™,Gen200®和Gen2000®MBE系统

CS行业创新奖 -  Genxcel MBE系统

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