Gen2000 MBE系统

卓越的吞吐量,较长的活动,较小的占地面积和群集工具晶片处理


Gen2000®MBE系统提供卓越的吞吐量,更长的活动,较小的占地面积和群集工具晶片处理。它是高批量生产的理想选择,如HBT和PHEMT,以及需要多6“生产的新兴应用程序,拥有成本低。

  • 提供行业的每个晶圆的最低成本
  • 优越的设计使得能够比可比较的MBE系统更小的占地面积为40%至60%
  • 模块化架构允许最多两个增长模块,增加吞吐量或允许处理不兼容的材料
  • 轻松维护最大化正常运行时间
  • 可选的隔板安装优化洁净室空间
  • 融入了该行业最具创新性,可靠的系统硬件,来源和组件

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