Gen200 MBE系统

市场上最具成本效益和容量最高的多4英寸生产MBE系统


VEECO的Gen200®MBE系统是当今市场上最具成本效益和容量最大的Multi-4英寸生产MBE系统。该系统可为泵激光器,VCSEL和HBT等设备增长基于GAAS或INP的晶片,提供卓越的吞吐量,长期运动和出色的晶圆质量。

  • 提供最低成本的4 x 4英寸Epiwafer增长
  • 模块化架构允许比可比的MBE系统明显小得多
  • 最多允许两个增长模块,增加吞吐量或允许处理不兼容的材料
  • 可选的舱壁安装优化了洁净室空间
  • 结合了行业最具创新性,最可靠的系统硬件,来源和组件

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