Veeco的Gen20™MBE系统是一种超柔性的工具，具有适用于III-V和新兴材料的设计，包括需要集成电子束技术的应用。该系统采用了生产设计技术，允许可选的群集工具晶片传输系统，用于理想的实验室到工厂迁移。

• 适用于材料研究和预生产环境
• 垂直源与12 MBE源端口的基板方向和选项添加电子束功能
• 手动或自动晶圆传输选项
• 可配置的Cryopanel，机械手，百叶窗和原位监控设备
• 模块化设计允许最多两个增长模块