Gen10™MBE系统是经过验证的平台中最经济，灵活的群集工具系统，可允许最多三种可配置的材料特定的增长模块。这使得能够高系统利用率，允许多个研究人员同时使用该系统并执行无人值守的生长和校准。这与Veeco组件技术相结合，是MBE社区正在选择Gen10™MBE系统的关键因素，无论应用程序如何。

• 自动晶圆传输可实现高系统利用率，允许多个研究人员同时使用该系统并执行无人值守的生长和校准
• 额外增长模块的经济升级路径，最多三个
• 集群架构中的可配置，材料特定的增长模块在一个真空系统中实现了不兼容的材料的生长
• 直接进程到较大生产MBE系统的路径