对于高性能的UHV递送需要热裂纹的气体，在到达MBE应用中的基材之前，Veeco的气体饼干提供独特的功能，如定制的出口锥形和端板，以优化助焊剂均匀性。这些气体裂解器具有传统的单丝源加热器，用于钽或PBN裂化管的辐射加热。还提供了提高流程效率的多种设计选项。

• 用于UHV递送需要热裂纹的气体
• TA或PBN气体电导管
• 具有定制出口锥和端板的优异均匀性
• 超过40个领域

气体饼干与源气体一起使用，源气体必须通过热裂纹激活，然后在到达基板之前。气体饼干具有传统的单丝源加热器，用于钽或PBN裂化管的辐射加热。可以使用内部挡板来增强裂缝效率。源具有多种气体入口，以及最多三个单独的电导管。