双丝源

在低操作温度下进行响应性能优化


该源采用两个独立的长丝加热坩埚,初级和尖端,提供增强的加热控制。尖端灯丝以热唇模式操作,以防止坩埚唇部的冷凝。此外,隔热外壳可以在100-750°C的温度工作范围内实现最佳源响应性和稳定性。

  • 专利设计,该领域拥有50多个
  • 在低操作温度下进行响应性能优化
  • 双长丝热唇加热,以防止坩埚孔口的凝结
  • 具有高蒸气压力材料的优异的长期通量稳定性

MBE的Veeco低温双丝源使用两个独立的加热器来控制沿着坩埚的长度的温度变化。初级加热器灯丝加热大部分坩埚。尖端灯丝仅加热坩埚的口区域,以补偿该区域的辐射热损失。该源以热锁定模式运行,以消除坩埚孔口的材料封闭,这可能导致源闭塞和梁遮蔽。

低温双丝源封闭在隔热封装中,该隔热封装设计用于100-750°C的工作范围内的最佳源响应性和稳定性。温度稳定性对于高蒸汽压力材料是至关重要的,因为即使是小的温度变化也会产生助焊剂的显着变化。

低温双丝源也可在高性能SUMO设计中提供。有关详细信息,请参阅“低温相扑源”数据表。

表现和福利

低温双丝源精确地定制了蒸发高蒸汽压力材料的需求。

福利包括:

  • 较低工作温度下的最佳性能
  • 快速助焊剂稳定
  • 优异的长期助熔剂稳定性

双丝“热唇”加热可防止坩埚孔口的凝结。这已被证明有许多“困难”材料有效,包括锑,碲和铅化合物。

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