铝的冷唇相扑源

MBE铝蒸发的最佳来源


消除损坏并获得veeco专利的冷唇SUMO®源 - III组(特别是AL)材料蒸发的最佳MBE源技术。它具有独特的专利坩埚,具有圆柱形储存器和小锥形孔,并提供大容量,优异的助焊剂均匀性和最小的快门通量瞬变或长期耗尽效果。

  • 专利设计,田间超过350个
  • 增加产能
  • 消除了Al Creep的伤害
  • 非常稳定的操作可最大限度地减少日常通量校准
  • 大大减少了快门磁通瞬变
  • 低背景杂质
  • PBN坩埚施工优化了材料质量

SUMO源是III组材料的最佳源技术。专为铝蒸发设计的冷唇源可防止由PBN的铝润湿引起的材料溢出。

SUMO设计采用双丝加热器和定制的定制热屏蔽盖,用于独特形状的坩埚。加热器和隔热屏蔽定位用于高效地加热坩埚体,其具有超出坩埚孔的有意的冷唇。任何爬犁超过孔口的铝都会在大嘴唇上冻结,而不会损坏源。通过以“冷唇”模式操作的双丝,可以调节温度梯度以优化特定源端口和源电荷水平的铝磁通均匀性。

专利坩埚特点:

  • 用于大充电容量的圆柱储层,最小化长期耗尽效应
  • 用于最佳磁通量分布的小锥形孔和忽略不计的快门通量瞬变
  • 冷区中的宽唇缘来保护源来冻结可能蠕动源的铝。通过适当的操作,铝不超过坩埚孔口蠕动。特定于氮化物应用,其中铝蠕变问题特别严重,Veeco提供了一种物质特异性延伸唇Sumo坩埚。坩埚上的PBN唇缘的延伸增强了坩埚冷区,并提供了额外的熔融铝和氮化物化合物的含量
  • PBN坩埚施工优化了材料质量

Sumo源以各种尺寸可用,与几乎所有MBE系统兼容。

表现和福利

Sumo消息来源提供最大的可用组III电荷能力,而不会牺牲材料质量或源业绩。全球设施展示了优异的材料质量,厚度均匀均匀。

福利包括:

  • 大充电容量。与来自其他供应商的原始III群源相比,铝电荷容量可能比加倍多。
  • 良好的均匀性。SUMO消息源旨在满足或超过大多数MBE系统中实现的厚度均匀性(±1%),具有最初推荐的来源。
  • 长期助焊剂稳定性。凭借其独特的形状,Sumo Crucible最大限度地减少了与锥形坩埚常见的长期耗尽效果。SUMO呈现恒定的熔体表面,可用于更一致和可重复的日常操作。保持恒定光束通量较小,温度越来越少。
  • 减少快门相关的通量瞬变。熔体表面凹陷在Sumo Crucible的小孔后面,被最屏蔽了最受反射的辐射。从闭合百叶窗反射的热量由PBN坩埚和隔热帽扩散。
  • 优异的材料质量。PBN坩埚施工和小坩埚孔,与有效的双灯丝加热相结合,降低了周围系统的热负荷,并导致生长层中的较低的背景杂质。

以冷唇模式运行的SUMO源是大多数应用的最佳铝源。在较小的充电容量是可接受的并且源极温度的快速升高至关重要的情况下,可以优选标准双丝或单灯源。

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