Veeco多孔CBR4气体流量控制系统，当与Veeco低温气体源一起使用时，允许将CBR4气体引入UHV环境，利用CBR4气体作为碳掺杂剂来源。使用闭环压力控制和一系列气动导通阀，系统最大限度地提高了调节气体的能力。互锁的融合可以防止潜在的设备损坏并确保最佳的真空系统性能。Veeco CBR4气体流量控制系统为选择系统提供两种模式：本地和遥控器。自动化MBE系统上的远程状态要求版本ECS1™Molly®增长控制软件控制系统的增长。