用于砷的专利Veeco阀门裂解器是彻底改变固体源MBE的来源。在全球范围内使用数百种MBE系统，是研发和生产的行业标准砷来源。Veeco Veeco Valved Cracker的创新设计提供了固体源的安全性的气源的便利性。固体砷在坩埚的大容量内加热，以产生束通通量。耐火金属针阀调节气体流入独立加热的裂缝区。可以执行对裂缝区温度的调整以产生AS4或AS2光束。

• 专利设计，近1000个领域
• 先进的助焊剂建模能力基于系统几何和用例，可实现定制的喷嘴
• 喷嘴设计优化材料利用率和助焊剂均匀性
• 用于近瞬时反应的机械通量控制
• 比标准来源更经济

随着最近的增强功能，用于砷的Mark V v型裂缝夹具包括一个提供优异的助焊剂均匀性和降低材料废物的喷嘴。材料利用率的改善导致以下内容：

• 物质节省成本
• 更长的活动
• 更短的系统清洁时间
• 危险废物较少
• 减少内存效果
• 降低颗粒水平和剥落

减少的系统窗涂层涂层用于砷的Veeco Valved饼干，可提供一系列尺寸，以与所有MBE系统兼容。在许多情况下，提供了多种尺寸以容纳具有高砷使用的应用。出口喷嘴定制到特定的MBE系统，用于晶片或压板上的出色的助焊剂均匀性。建议使用Veeco SMC-II自动阀定位器，以便使用该源以可靠，自动控制针阀。

表现和福利

用于砷的瓣膜裂缝通过使用针阀来优化对生长过程的控制，用于近瞬时通量调制和完全磁通关闭。源极可以在工作温度下连续空闲，而不会耗尽电荷材料。利用机械磁通控制，而不是用于传统开放源的热控制，电荷容量可以任意大而不限制源的响应性。

展示的福利包括：

• 更多对增长过程的控制
• 更高的生产力
• 更长的增长运动
• 作为消费减少
• 更彻底的电荷排除
• 消除无意作为掺入异质结构
• 更好地使用原位诊断工具