氨抗性来源

耐腐蚀设备,用于更高的正常运行时间


随着Veeco的氨的退休,延长的生活来源,延长了正常运行时间和降低维修费用。可用于高达120°C的温度,氨部分压力高达1×10-4托。基板加热器也可用于高达1200°C的温度和1×10-4托的氧部压力。

  • 延长氨环境的寿命
  • Sumo Crucible可提供最佳的助焊剂分布和最小化的耗尽效应
  • 氨部分压力高达1×10-4托
  • 温度高达1200°C
  • 该领域超过20个

由于达到高生长率和易于控制的能力,使用氨(NH3)作为氮源变得越来越普遍。因此,氨可以显着降低设备寿命。由于氢脆脆,来源和加热器长丝持续几个月并不少见。因此,设备正常运行时间受到损害,导致较短的广告系列长度和高维修成本。

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