最大化氨（NH3）的生产率和性能 - 基于Veeco的延长寿命抗MBE用于中温环境的抗性MBE源。他们增加了活动时间，最大限度地减少维修费用，并获得优异的增长率。这些来源在高达1350°C的温度下表现良好，氨部分压力高达1×10-4托。基板加热器和Sumo Clucible可以进一步延长性能。

• 延长氨环境的寿命
• Sumo Crucible可提供最佳的助焊剂分布和最小化的耗尽效应
• 氨部分压力高达1×10-4托
• 温度高达1200°C
• 该领域超过20个

由于达到高生长率和易于控制的能力，使用氨（NH3）作为氮源变得越来越普遍。因此，氨可以显着降低设备寿命。由于氢脆脆，来源和加热器长丝持续几个月并不少见。因此，设备正常运行时间受到损害，导致较短的广告系列长度和高维修成本。

利用特殊的氨抗性材料，Veeco可以在高氨部分压力下运行其创新和经过验证的来源和基板加热器。Veeco的氨抗性来源和加热器目前可用于高达1200°C的温度，氨部分压力高达1×10-4托。