大/宽基板或大型基板批次的线性源
Veeco的经过验证的线性包装的直流离子源是高度均匀,可靠的离子束沉积工艺平台,利用大/宽的单个基板或大型基板批次。它们是线性或圆柱形固定装置的优异资源。
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