6cm x 30cm dc离子源


大/宽基板或大型基板批次的线性源

Veeco的经过验证的线性包装的直流离子源是高度均匀,可靠的离子束沉积工艺平台,利用大/宽的单个基板或大型基板批次。它们是线性或圆柱形固定装置的优异资源。

  • 具有与Veeco世界级的圆形离子束源相同的创新设计,质量和可靠性
  • 提供均匀的等离子体和高电流密度
  • 支持50至2000 eV的宽光束能量范围,每个源源极高达500 mA
  • 电源选项允许光束电流高达800 mA

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